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中文图书1.微机电系统(MEMS)设计和原型设计指南 TM/319GH
馆藏复本:1
可借复本:1 (美)Joel A. Kubby著
国防工业出版社 2014
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中文图书2.微机电系统及工程应用 TM/225GH
馆藏复本:1
可借复本:1 莫锦秋,梁庆华,王石刚编著
化学工业出版社 2015
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中文图书3.微机电系统设计与激光.5版 TH/10:12GH
馆藏复本:1
可借复本:1 闻邦椿主编
机械工业出版社 2015
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中文图书4.微机电系统:国家科普知识重点图书 TM38-49/1
馆藏复本:3
可借复本:3 梅涛, 伍小平主编
化学工业出版社 2003
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